马瑶，女，理学博士，副教授，硕士生导师。

Email：mayao@scu.edu.cn

教育经历

1998-2003   四川大学物理学院 微电子学 学士

2008-2011   四川大学物理学院 微电子学与固体电子学 硕士

2011-2016   四川大学物理学院 凝聚态物理 博士

工作经历

2003-今   四川大学物理学院微电子学系教师。

人才培养

主讲本科生课程：《半导体材料及IC工艺原理（双语）》（四川大学课程思政榜样课程）、《微电子器件设计与工艺实验》、《微电子技术发展前沿》。

主讲研究生课程：《微电子器件可靠性分析》。

专业方向：微电子及相关专业

研究领域

1、半导体材料和介质材料的制备及缺陷分析

2、半导体材料及微电子器件的可靠性

3、半导体材料及微电子器件辐照效应及抗辐照加固研究

代表性科研项目及成果

1、SiC功率器件高能粒子辐射效应机理及评估方法。明确单粒子辐照造成4H-SiC SBD器件的漏电退化和失效的机理，建立物理模型用于定量的预测单粒子辐照条件对4H-SiC SBD器件的漏电退化的影响，提出新的加固设计以提高4H-SiC SBD器件的抗单粒子失效的能力。

2、基于掺锆氧化铪的铁电存储器空天应用可靠性研究。全面评估了掺锆氧化铪的铁电存储器在不同高能粒子种类、不同能量、不同辐照通量下的器件性能及可靠性。

3、MOSFET器件重离子微损伤及其对器件特殊环境应用的可靠性研究及评估。包括Si基深亚微米MOSFET器件、SiC MOSFET器件重离子微损伤的微观形貌表征及宏观性能提取及分析，建立了重离子微损伤对器件宏观性能及长期可靠性影响的模型。

4、高可靠大功率抗雷击芯片工艺的研发及应用。

招生信息

一、研究生招生专业方向：微电子学与固体电子学等

二、 招生要求：申请硕士生，本科需在微电子科学与工程、电子信息等相关专业就读。

三、 本科生科研指导：课题组每年接收物理学院相关专业在读本科生10名左右参与课题组在研科研项目，并申报大学生创新创业项目。